發(fā)布時間:2021-03-05
電子特氣管道系統(tǒng),簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成,其中“存儲”是指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管方面(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。特種氣體系統(tǒng)的GC特氣柜/GR特氣架的設(shè)置須符合下列規(guī)定:1. 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置;2. 不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中;3. 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板;4. 系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實(shí);5. 氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓,柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h;6. 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器;7. 氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm, 并應(yīng)有防腐蝕涂層;8. 氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能, 并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求;9. 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌;10. 當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境時,其設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。電子特氣管道工程是一種危險性很高的工程,是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應(yīng)系統(tǒng),所以,為了用氣安全,在安裝特氣系統(tǒng)時,要嚴(yán)格遵守其中的一些規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。以上,便是關(guān)于特氣系統(tǒng)中特氣柜和特氣架該如何設(shè)置的介紹,感謝您的閱讀!
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