高純化學(xué)品是大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路制造的關(guān)鍵性配套材料，主要用于芯片的清洗、蝕刻，以及高能電池電解液、電子元器件、高端通用芯片、分立器、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、光電玻璃等制造領(lǐng)域。高純化學(xué)品的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。高純化學(xué)品具有品種多、用量大、技術(shù)要求高、儲(chǔ)存使用有時(shí)間期限和具備腐蝕性等特點(diǎn)。

在集成電路芯片和液晶顯示器生產(chǎn)的行業(yè)中,生產(chǎn)工藝需用的各種無(wú)機(jī)化學(xué)品藥液（主要包括各類酸、堿、鹽等）需要通過(guò)管道輸送到工藝設(shè)備，這些化學(xué)品藥液中具有強(qiáng)腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害，為防止化學(xué)品管道的輸送過(guò)程對(duì)人、設(shè)備造成傷害以及對(duì)環(huán)境造成的污染，保證電子工業(yè)廠房化學(xué)品管道安全有效輸送，要求此類管采用雙套管的施工方法,而傳統(tǒng)的雙套管施工工藝是透明PVC管內(nèi)穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。

本工藝采用了透明PVC管內(nèi)穿PFA軟管的施工方法，即管道系統(tǒng)包括內(nèi)外管兩層管道,內(nèi)管采用四氟乙烯與全氟烴基乙烯醚的共聚物的軟質(zhì)管道(分PFA/PVDF/ECTFE等系列),內(nèi)管為輸送化學(xué)品的管道，外管采用透明PVC管道，為保護(hù)管道。輸送管道規(guī)格一般為DN10、20、25、50?(1/4”、3/4”、1”、2”)的焊接型PFA管材及其管件，管道、附件均通過(guò)專用PFA焊接機(jī)進(jìn)行焊接，與設(shè)備連接通常為法蘭連接。

系統(tǒng)組成：
系統(tǒng)一般由設(shè)于化學(xué)品間外墻的接收裝置、化學(xué)品間內(nèi)的化學(xué)品接收儲(chǔ)罐、供給裝置、化學(xué)品供給管路組成，。
a．化學(xué)品接收裝置，設(shè)置在化學(xué)品間內(nèi)，于外墻設(shè)有接收窗，直接將室外化學(xué)品槽車的化學(xué)品接收，并注入藥品儲(chǔ)罐內(nèi)；
b．標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)品接收儲(chǔ)罐，置于化學(xué)品間地下基礎(chǔ)之上，儲(chǔ)存化學(xué)品；
c．化學(xué)品供給裝置，置于化學(xué)品間內(nèi)，向使用設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品；
d．化學(xué)品供給管路，自接收裝置至化學(xué)品儲(chǔ)罐，再由化學(xué)品儲(chǔ)罐至化學(xué)品供給裝置。由外套管及內(nèi)管組成，外管均為透明PVC管，內(nèi)管由焊接型PFA管及PFA彎頭組成。這類管道一般用于接收裝置至化學(xué)品接收儲(chǔ)罐至供給裝置的管路。