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BSGS大宗特氣系統(tǒng)

2019-12-10 11:48:07 0

深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬,是一家專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程:電子特氣管道系統(tǒng)、實驗室管道供氣系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣體及特殊工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng),提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè); 榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”認定并取得證書。工程項目覆蓋半導體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標準檢測等高科技行業(yè);為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案。


大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)作為半導體生產(chǎn)過程中必不可少的系統(tǒng),高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而   言,集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高、生產(chǎn)過程更為復(fù)雜,因而所需的氣體種類更多、品質(zhì)要求更高、用量更大,也就更具代表性。,此系統(tǒng)是在氣柜基礎(chǔ)上開發(fā)的,可以持續(xù)進行超大流量不間斷供應(yīng)的特氣供應(yīng)系統(tǒng).


大宗特氣系統(tǒng)(BSGS)的應(yīng)用受益于污染控制的進步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性,降低了屢次充裝的污染風險,其次在氣站建設(shè)時候做好每個獨立單元模塊的功能架構(gòu),使得大宗氣體也可以保持最高的純度。另外,液態(tài)氣體使用前的預(yù)熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。



大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現(xiàn)自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,泄漏偵測,遠程緊急切斷;專用氮氣吹掃起源等等。

特種氣體采用獨立氣源,多用點采用VMB或VMP分路供應(yīng),VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用獨立的氣體房,獨立的抽風系統(tǒng)除了簡單的供氣系統(tǒng)以外,特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設(shè),其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。

常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設(shè)在一個氣體室;而對于大宗特氣,會根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風,氣體房的選擇和設(shè)計一般由設(shè)計院完成。

組成大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)主要適用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工廠特氣的集中供氣,本文重點以集成電路芯片制造廠為背景來闡述。

大宗特氣供氣系統(tǒng)的設(shè)計

首先必須根據(jù)工廠所需用氣量的情況,選擇最合理和經(jīng)濟的供氣方式。 氮氣的用量往往是很大的,根據(jù)其用量的不同,可考慮采用以下幾種方式供氣:

1)、液氮儲罐,用槽車定期進行充灌,高壓的液態(tài)氣體經(jīng)蒸發(fā)器(Vaporizer)蒸發(fā)為氣態(tài)后,供工廠使用。一般的半導體工廠用氣量適中時這種方式較為合適,這也是目前采用最多的一種方式。

2)、采用空分裝置現(xiàn)場制氮。這適用于N2用量很大的場合。集成電路芯片制造廠多采用此方式供氣,而且還同時設(shè)置液氮儲罐作備用,氧氣和氬氣往往采用超低溫液氧儲罐配以蒸發(fā)器的方式供應(yīng), 氫氣則以氣態(tài)方式供應(yīng),一般采用鋼瓶組(Bundle)即可滿足生產(chǎn)要求。

如用氣量較大,則可采用Tube Trailer供氣,只是由于道路消防安全審批等因素,目前在國內(nèi)還很少采用此方式。相信隨著我國微電子工業(yè)的飛速發(fā)展,相關(guān)的安全法規(guī)會更完善,Tube Trailer供氣方式會被更多地采用。如果氫氣用量相當大,則需要現(xiàn)場制氫,如采用水電解裝置.

由于低溫液氦儲罐的成本相當昂貴,加以氦氣用量不大,氦氣一般采用鋼瓶組(Bundle)的形式供應(yīng)即可滿足生產(chǎn)要求。隨著大型集成電路廠越來越多地出現(xiàn),氦氣的用量也逐漸上升,國外已開始嘗試使用液氦儲罐,而且由于氦氣在低于-4500F時才是液體,此時所有雜質(zhì)在此液相中實際均已凝結(jié)在固體,理論上從該儲罐氣化的氮氣已是高純度,不用再經(jīng)純化處理。

隨著國內(nèi)半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,將會出現(xiàn)一些半導體工廠較為密集的微電子生產(chǎn)園區(qū),這時有可能采用集中的管道供氣方式,即由氣體公司在園區(qū)內(nèi)建一大型氣站,將大宗氣體用地下管線送往各工廠。這種方式可以大大降低各廠的用地需求和用氣成本,形成氣體公司與半導體工廠多贏的局面。