發(fā)布時(shí)間:2019-11-27
高純氣體管道配管 所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU),為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標(biāo)一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則,并在圖紙中注明管道材質(zhì)。 管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L
EP管,經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to
valleyheight)約為0.3μm以下,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L
BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L
BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing
& Picking),則用于不做為供氣管路的雙套外管?! ∧壳霸趪?guó)內(nèi)潔凈管道可參照標(biāo)準(zhǔn)比較少,通常我們除了參照《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》《氫氧站設(shè)計(jì)規(guī)范》《壓縮空氣設(shè)計(jì)規(guī)范》等有關(guān)技術(shù)行業(yè)技術(shù)規(guī)范外,在業(yè)內(nèi)我們慣用的選材與配管一般參照國(guó)際通用的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn): 各種氣體配管配件要求 在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小,其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露點(diǎn)的要求也越來(lái)越高。 高純氮?dú)?PN2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥?! 〉?dú)?N2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥?! 「呒儦錃?PH2)氫氣(H2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氬氣(Ar):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。 氦氣(He):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。 特氣系統(tǒng):必要的還需做雙套管:外管酸洗鈍化(AP)處理,內(nèi)管電解拋光(EP),閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥?! 嚎s空氣(CDA):系統(tǒng)管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門(mén)采用相同材質(zhì)的球閥(要求不高的公司亦可采用銅管,視工藝要求定) 對(duì)于特殊氣體來(lái)講,氣體品種多,有毒有害氣體多,原來(lái)是一機(jī)臺(tái)配一氣柜,高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本,且有的還布置在工藝間內(nèi),存在著泄漏的安全隱患?,F(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng),氣柜集中,自控系統(tǒng)不斷完善,其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟,特氣間也與工藝間隔離,并對(duì)房間有防爆要求,工作的安全性大大提高?! ♂槍?duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內(nèi),再透過(guò)管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱(VMB, Valve
Manifold Box),而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)(POU, Point of
Use),更多氣體知識(shí)請(qǐng)關(guān)注氣體圈子微信:gasgroup于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(pán)(GB, Gas
Box)與制程控制模塊聯(lián)機(jī),以質(zhì)流控制器(MFC, Mass Flow
Controller)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤(pán)不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架(Gas
Rack)與閥盤(pán)(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)?! 〔煌瑲怏w配管要求 腐蝕性能較強(qiáng)的氣體時(shí),須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管,否則,管材將會(huì)由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑,嚴(yán)重時(shí)會(huì)出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔,從而污染輸配的純凈氣體?! 〈罅髁康母呒儭⒏邼崈舳葰怏w輸配管道的連接,原則上全部采用焊接,要求采用的管材,在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化。含碳過(guò)高的材料在焊接時(shí),受焊接部位的透氣,使得管內(nèi)外氣體的相互滲透,破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度,導(dǎo)致我們的各項(xiàng)努力全部失去意義?! 【C上所述,對(duì)于高純氣體及特種氣體輸送管道,需采用一種特種處理的高純不銹鋼管,至使高純管道系統(tǒng)(包含管道、管件、閥門(mén)、VMB、VMP)在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的作用
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