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電子特氣制備工藝系統(tǒng)的應(yīng)用

2023-04-13 09:21:26        0

電子特氣制備工藝系統(tǒng)的應(yīng)用

電子特種氣體,是一種用于制造半導(dǎo)體及其他電子器件的特種氣體,是半導(dǎo)體制造的重要原材料之一,應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能逐步向中國特別是集成電路制造業(yè)轉(zhuǎn)移,本土對品質(zhì)、品質(zhì)要求高的電子特種氣體需求更加旺盛。


電子特種氣體,包括硅族氣體、鹵化物或鹵素化合物氣體,含硼、磷、砷等原子的氣體,以及碳氟化合物氣體,種類繁多。與工業(yè)氣體不同,電子特種氣體要求電子級,即更高的純度,以滿足半導(dǎo)體制造微加工工藝的潔凈要求,而“特”則體現(xiàn)在其毒性、腐蝕性、可燃性等化學(xué)活性上,更容易參與半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)反應(yīng)。

電子專用氣體的好壞直接影響光電和微電子元器件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標(biāo)和成品率,對半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。國內(nèi)電子特氣雖已占據(jù)一定市場,但仍以光伏、LED、平板顯示等泛半導(dǎo)體制造為主。集成電路制造用電子專用氣體國產(chǎn)化率較低。電子專用氣體,特別是關(guān)鍵工藝氣體,如果在集成電路制造中需要通過驗(yàn)證,對制備體系、質(zhì)量控制穩(wěn)定性和包裝都有更高的標(biāo)準(zhǔn)要求。

高純氣體產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)要求

不同種類的半導(dǎo)體器件,其制造工藝不同,電子特種氣體的種類也不同,對電子特種氣體純度的要求也不同。集成電路占據(jù)了半導(dǎo)體產(chǎn)品市場80%以上的份額,制造工藝最復(fù)雜,技術(shù)壁壘最高,審核認(rèn)證最嚴(yán)格,制造過程中需要的電子特種氣體種類最多。并且工藝線寬越小,對電子特種氣體的純度要求越高,需要檢測的氣體雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)的種類也就越多。

除了滿足指標(biāo)要求外,電子特氣質(zhì)量的一致性也非常關(guān)鍵。半導(dǎo)體制造廠采用統(tǒng)計(jì)過程控制(SPC)技術(shù)控制半導(dǎo)體材料電子專用氣體的質(zhì)量,避免和消除非自然異常,保證質(zhì)量的一致性,從而保證半導(dǎo)體制造的穩(wěn)定性和良率。

電子專用氣體主要用于半導(dǎo)體制造的外延、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、薄膜、離子注入等工藝。是制造集成電路、平板顯示器、化合物半導(dǎo)體器件、光伏器件、光纖等半導(dǎo)體器件不可缺少的基礎(chǔ)材料。一。衡量電子特種氣體質(zhì)量的指標(biāo)不僅指氣體本身的純度,還包括影響制造過程的各種關(guān)鍵雜質(zhì)含量,如氧氣、水分、金屬、離子濃度、顆粒物等。我們通常用N(九)來表示氣體的純度。6N表示氣體純度為99.9999%。雜質(zhì)含量通常為ppm(百萬分之一,0.0001%)、ppb(十億分之一,十億分之一,0.0000001%)。


高純氣體產(chǎn)品品質(zhì)檢驗(yàn)要求(舉例)

項(xiàng)目

指標(biāo)

純度

99.999%

 

 

 

雜質(zhì)

0.5ppm

1.0ppm

3.0ppm

一氧化碳

1.0ppm

甲烷

1.0ppm

二氧化碳

1.0ppm

2.0ppm