VMB閥門分配箱(Valve Manifold Box)，是一種內(nèi)嵌多支路，實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱，它能讓氣體從單一來源被分配到多點應(yīng)用。對于每個使用點， 氣壓可被單獨地調(diào)控， 從而滿足個別應(yīng)用需求。它還提供循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能， 因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外，設(shè)備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應(yīng)情況下，吹掃某一支路或?qū)ζ溥M行真空抽氣。VMB 被設(shè)計且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應(yīng)。閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)與VMB區(qū)別在于它使用的開放式管道分配部件，一般用于惰性氣體。

　　目前因制程越來越先進，所以產(chǎn)生BSGS的系統(tǒng)，而未達到供應(yīng)的穩(wěn)定，且可以一臺分配到多臺VMB，所以在中間都會在增加VDB 。VDB(Valve Distributing Box)就是VMB的總管，主管路到FAB內(nèi)先接VDB，再分到各各VMB內(nèi)，其中的VDB有些廠叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特別大的氣體供應(yīng)上。VDB是進二(有一路做BACKUP)路管道，出多路管道。惰性氣體可選用VDP(Valve Dispense Panel)。

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　　閥門箱VMB和閥門盤VM在硬件上具有幾大部分，分別是人機界面、PLC電磁閥、警急遮斷按鈕、LED指示燈、紫/紅外線火焰感知器、差壓設(shè)定開關(guān)、差壓計、繼電器、電源供應(yīng)器、溫度開關(guān)、I.A過流量開關(guān)等。其中，人機界面作為人與控制器的控制與溝通界面，一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，還可接受操作人員下達的指令，作為系統(tǒng)運作的確認(rèn)。而紫/紅外線火焰感知器可以在感測到火災(zāi)發(fā)生時作動，將訊息傳至PLC處理;差壓設(shè)定開關(guān)是當(dāng)箱體與大氣壓之差壓未達設(shè)定值動作，可以將訊息傳至PLC處理;溫度開關(guān)在感測到箱體溫度高于設(shè)定值時，能夠?qū)⒂嵪髦罰LC處理;I.A過流量開關(guān)是當(dāng)驅(qū)動氣動閥之軟管松脫或爆裂導(dǎo)致流量過大時，可將輸出訊號告知。

　　歷經(jīng)多年的技術(shù)迭新與系統(tǒng)升級，目前閥門箱VMB和閥門盤VMP安全功能顯著，其部分操作應(yīng)用既滿足了工藝生產(chǎn)過程中對高純介質(zhì)的連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。比如按下緊急停止按鈕即可關(guān)斷所有的氣動閥;當(dāng)遠程緊急停止動作驅(qū)動則即可關(guān)斷所有的氣動閥;當(dāng)氣動閥驅(qū)動壓力不足時則會輸出警報告知，設(shè)定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa;當(dāng)偵測到箱體環(huán)境溫度高于設(shè)定值時則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉所有閥件，設(shè)定溫度為70℃;當(dāng)感測到火災(zāi)發(fā)生時作動，則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉所有閥件;當(dāng)管路內(nèi)的流量過大導(dǎo)致驅(qū)動過流量開關(guān)(EFS)，則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉該使用側(cè)的閥件;當(dāng)箱體內(nèi)的壓差過小的狀態(tài)下，則會輸出警報告知，設(shè)定壓差為50 Pa以上。

　　長期以來，作為專業(yè)從事氣體系統(tǒng)工程設(shè)計安裝、技術(shù)服務(wù)咨詢和配套產(chǎn)品生產(chǎn)銷售為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)，沃飛科技致力于為先進制造企業(yè)及研發(fā)機構(gòu)提供高純工藝系統(tǒng)解決方案，業(yè)務(wù)涵蓋了整個系統(tǒng)方案設(shè)計、材料和設(shè)備供應(yīng)、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)，工程項目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各類實驗室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè)，銳意為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案，在成為行業(yè)領(lǐng)先的專業(yè)系統(tǒng)集成服務(wù)商的道路上穩(wěn)健快速發(fā)展，逐步成為行業(yè)領(lǐng)先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。