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2020-03-21 09:18:21 責任編輯: 沃飛科技 0
高純氣體管路的設(shè)計,所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU),為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。高純氣體管路的設(shè)計選哪家?
深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應用系統(tǒng)解決方案:電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、選定設(shè)備、預制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務。下面我們一起來看看吧,希望對大家有所幫助。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管,經(jīng)電解拋光處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,約為0.3μm以下,其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管,則用于不做為供氣管路的雙套外管。
對于特殊氣體來講,氣體品種多,有毒有害氣體多,原來是一機臺配一氣柜,高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本,且有的還布置在工藝間內(nèi),存在著泄漏的安全隱患?,F(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng),氣柜集中,自控系統(tǒng)不斷完善,其報警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟,特氣間也與工藝間隔離,并對房間有防爆要求,工作的安全性大大提高。
以上就是我們簡單介紹的POU工藝氣體管路設(shè)計思路,希望能給大家提供參考。