亚洲精品蜜桃久久久久久,播放强奸乱伦,牛牛A片视频在线观看,欧美黄色小说,亚洲色图区一操,影音先锋男人站日韩女优

熱線 0755-27919860

制程中廢氣處理設(shè)備 local scrubber如何處理產(chǎn)生的含毒性廢氣?

2020-11-25 10:37:36    責(zé)任編輯: 廢氣處理設(shè)備制造廠商     0

當(dāng)今社會已進(jìn)入以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時代,半導(dǎo)體技術(shù)是一個國家科技水平,工業(yè)水平和綜合國力的體現(xiàn),但半導(dǎo)體生產(chǎn)中會產(chǎn)生大量的有毒有害氣體,這些有毒有害物質(zhì)如車間內(nèi)的濃度超標(biāo)會對操作人員造成極大傷害,未經(jīng)廢氣處理設(shè)備有效的處理就排入室外會造成大氣污染。


其中含毒性廢氣主要來源為化學(xué)氣相沉積(CVD)、干蝕刻機、擴散、離子注入及磊晶等制程時所產(chǎn)生,由于以上制程均使用大量的毒性氣體,因此在機臺本身即設(shè)置有廢氣處理設(shè)備local scrubber作先行處理。



吸附式廢氣設(shè)備處理local scrubber以吸附桶完全處理設(shè)備廢氣,有著沒有明火、無塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源;節(jié)省能源、沒有高耗能的需求;不需要耗用水資源,沒有廢水處理問題等優(yōu)點。


制程過程產(chǎn)生的含毒性廢氣在風(fēng)機壓力下由入氣口管道進(jìn)入主吸附桶,廢氣中需要處理的有毒氣體組分如PH3、SiH4等在主吸附桶中被吸附劑吸附處理,吸附后的廢氣經(jīng)變色球檢驗后從出氣口排出,再送至central scrubber 做水洗中和處理后,最后排入大氣,確保廢氣處理的安全性處理過程中沒有危害。



以上,簡單介紹了在半導(dǎo)體制程工藝中含毒性廢氣的主要來源工序、危害性和吸附式廢氣處理設(shè)備處理過程。感謝您的閱讀,想了解更多尾氣廢氣處理設(shè)備參數(shù),請聯(lián)系我們!