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VMP:閥組盤特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置,用于向一個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體,同時供應(yīng)數(shù)臺機臺,根據(jù)氣體種類進行分類,將工藝氣體純化、過濾、減壓,達(dá)到客戶需求