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VMP特氣閥門(mén)盤(pán)(笑氣閥門(mén)盤(pán))

產(chǎn)品分類(lèi):VMP閥門(mén)盤(pán)


產(chǎn)品說(shuō)明:特氣分配面板就是具有多個(gè)分支出口且每個(gè)分支出口上都設(shè)有閥門(mén)的能將主管道中的液體或氣體分流到各分支出口的管路構(gòu)件。目前的管路分流器,其分流管與各分路球閥都是利用螺口連接的。

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產(chǎn)品詳情

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):

· 專(zhuān)為特氣關(guān)鍵制程工藝設(shè)計(jì)

· 面板式整體結(jié)構(gòu)便于安裝

· 主體采用316L不銹鋼材質(zhì),更適合于半導(dǎo)體制程特氣使用

· 金屬膜片減壓結(jié)構(gòu)

· 硬密封結(jié)構(gòu),避免材質(zhì)老化污染

· 采用膜片閥控制,流道簡(jiǎn)潔,操作可靠,使用壽命長(zhǎng)

· 閥組采用焊接與VCR結(jié)構(gòu)連接,大幅避免泄漏。

· 可選用報(bào)警信號(hào)壓力表結(jié)構(gòu),供氣欠壓提供報(bào)警信號(hào)

· 特氣系列減壓器

· 配安全閥

· 進(jìn)口減壓閥及管路經(jīng)耐壓測(cè)試和泄漏測(cè)試

· 2”不銹鋼壓力表,讀數(shù)清晰

· 所有膜片閥旋鈕帶“開(kāi)啟/關(guān)閉”指示窗