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2020-03-26 11:04:45 0
特氣控制面板的設(shè)計
特氣控制面板是氣路系統(tǒng)中重要的一個控制單元,這里主要圍繞易燃易爆性、毒腐性、面板控制等介紹,包括特氣面板設(shè)計規(guī)范和作用等內(nèi)容。
特氣輸送面板介紹
特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來,經(jīng)過高壓控制盤面時,都實現(xiàn)了一次調(diào)壓、過濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求,可以根據(jù)實際情況定制具體功能。現(xiàn)階段,越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設(shè)備進(jìn)行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究,這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體,對于氣源的控制要求非常高,也給供氣面板提出了很多要求。
特氣面板設(shè)計規(guī)范指南
面板閥門
1、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門,并應(yīng)為常閉氣動閥門,位置應(yīng)靠近氣瓶;
2、氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān);
3、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置,真空管路應(yīng)設(shè)止回閥;
4、氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。
可燃性特氣柜設(shè)計參考
氣瓶柜
硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/H,且氣柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控;自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測器;可燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置誰噴淋系統(tǒng);自燃性特種氣體的氣柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。
VMP閥門盤氣體面板設(shè)計的意義
輸送控制面板的設(shè)計對于整個供氣系統(tǒng)的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用,在設(shè)計初期,業(yè)主需要將工藝、要求等提供給設(shè)計院作為設(shè)計依據(jù),同時,在建設(shè)周期,有必要參考相應(yīng)的規(guī)范將要求落實到施工當(dāng)中去。