深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程的高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)為客戶提供大宗氣體系統(tǒng)、電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、高純化學(xué)品供液系統(tǒng)、Local Scrubber尾氣處理系統(tǒng)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品的一站系統(tǒng)解決方案，公司于2018年榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”認定。

電子氣體特氣供氣系統(tǒng)發(fā)展趨勢

電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代，產(chǎn)品制造尺寸越來越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻?；旧瞎I(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標，直接與分析儀器技術(shù)進步帶來的最低檢測極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對于大宗氣體的純度都要求在級別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術(shù)指標已達到以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產(chǎn)技術(shù)指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。

大宗特氣系統(tǒng)（的及時應(yīng)用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質(zhì)的連續(xù)性，降低了多次充裝污染風險。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。多釆用了深層吹掃，顯著提高了吹掃效果。輸送管路系統(tǒng)普遍采用了不銹鋼電解拋光（管道，高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器（、接頭等，接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在同時采用零死區(qū)設(shè)計。施工技術(shù)采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和保證程序。氣體輸送系統(tǒng)建成后必須經(jīng)過嚴格的保壓、氦檢漏、顆粒度和水分、氧分以及其它氣相雜質(zhì)的測試。大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送如何滿足大規(guī)模量產(chǎn)工廠對電子氣體大流量、不間斷和穩(wěn)定輸送的要求是一個挑戰(zhàn)。

電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機臺對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動切換供氣，而且多設(shè)計了備用設(shè)備。對于低蒸汽壓氣體（等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器，電子秤，溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計。對于大流量的不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響，還要考慮氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳湯普遜效應(yīng)。

一般而言，氣體減壓后，溫度會降低，甚至液化。這會照成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進行預(yù)熱。氣體監(jiān)控系統(tǒng)（通過計算機網(wǎng)絡(luò)，實現(xiàn)對氣體輸送系統(tǒng)的實時監(jiān)控，確保了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。針對液化氣體（如氨氣）的，采用直接加熱液體的氣化輸送系統(tǒng)已經(jīng)研發(fā)成型，很快會在的應(yīng)用上推廣。安全日趨嚴格電子氣體可能存在室息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險，其危害性被不同國家區(qū)域和不同的工業(yè)組織進行了詳細的危險等級分類。對于一個大規(guī)模量產(chǎn)的電子工廠，其使用和存儲的電子氣體數(shù)量之多可以毫不夸張地被視為擁有大規(guī)模殺傷性武器庫。任何設(shè)計上、施工中、日常運行里存在的安全隱患都會對工廠、人員和環(huán)境帶來巨大的災(zāi)難。

如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作，系統(tǒng)的工藝和產(chǎn)品本征安全設(shè)計，在眾多的國際標準規(guī)范如，等都有很詳細的規(guī)定，目前中國國內(nèi)也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規(guī)范。通常而言，會根據(jù)氣體性質(zhì)和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規(guī)劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。

針對硅烷輸送系統(tǒng)，特別是系統(tǒng)，因總量較大，應(yīng)釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應(yīng)采用自動噴淋系統(tǒng)。而三氟化氯遇水反應(yīng)，需要采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。使用電子氣體的工廠抽風系統(tǒng)，也根據(jù)危險品性質(zhì)分成了普通排風系統(tǒng)（，酸性排風系統(tǒng)（，溶劑排風系統(tǒng)（和氨氣排風系統(tǒng)（。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接，經(jīng)保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃氣體，應(yīng)使用雙套管輸送。

一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，安全輸送系統(tǒng)（正在被廣泛使用。其鋼瓶內(nèi)采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統(tǒng)（是全廠生命安全系統(tǒng)（的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應(yīng)迅速外，還應(yīng)具備自檢功能。
 
因為電子工業(yè)投資規(guī)模越來越大，縮短建設(shè)周期，降低建設(shè)成本也越來越重要。對電子氣體輸送系統(tǒng)而言，如何在不降低系統(tǒng)污染控制水平和不犧牲安全配置前提下，努力減少建設(shè)和運行成本，同樣是一個挑戰(zhàn)。合理配置系統(tǒng)，合理選型材料，可顯著降低初始投資費用。這就要求電子氣體輸送系統(tǒng)承包商具備較強的系統(tǒng)設(shè)計能力。性質(zhì)相匹配的氣體，采用同一吹掃氮氣系統(tǒng)，可顯著節(jié)約氣瓶柜的投資。對于可采用移動式吹掃氮氣盤。小管路的施工，直接采用彎管的方式，即節(jié)約了彎頭的費用，也大大提高了施工效率。

嚴格執(zhí)行高純管路施工規(guī)范，可大大降低測試氣體和測試時間。這些都是行之有效的成本控制措施。采用大包裝容器的氣源，可大大降低物流和人力操作等運行費用。因而越來越受到更多客戶的青睞。
 
綜上所述，電子氣體輸送系統(tǒng)面臨著高純度、大流量、嚴格的安全措施和大力降低建設(shè)成本等幾個方面是的挑戰(zhàn)，同時也是未來的發(fā)展方向。