如何有效地延長腐蝕性氣體管道系統(tǒng)（例如Cl2或BCl3系統(tǒng)）的壽命。

維護腐蝕性氣體管道系統(tǒng)（例如Cl2或BCl3）是保持氣體潔凈程度的一項基本功能。水分是大多數(shù)腐蝕性氣體的第一大敵人，不需要花費很多時間即可破壞您的氣體管道系統(tǒng)。沃飛科技已經(jīng)在特氣系統(tǒng)設計安裝領域耕耘了近10年，我們看到有些氣體管道系統(tǒng)只使用了一兩年，而有的系統(tǒng)則可以在10年后仍然運行良好。兩者之間的區(qū)別在于對氣體系統(tǒng)的維護方式。

您可以采取以下措施來延長氣體系統(tǒng)的使用壽命：

1.在特氣柜更換氣瓶前，請確保充分循環(huán)清洗吹掃特氣柜系統(tǒng)。始終在氣柜上使用自動循環(huán)清洗功能，并將其至少設置為75次循環(huán)清洗。這樣可以在打開連接并允許大氣進入管道之前有效地去除腐蝕性氣體，然后在安裝氣瓶之后，重新引入腐蝕性氣體之前有效地去除空氣。在打開氣瓶之前，較高質量的氣柜會在尾纖上抽真空到主截止閥，因此請勿將特殊氣體與N2混合。

2.確保已啟用“吹掃吹掃”選項以啟用過程吹掃，并確?？焖俑鼡Q氣缸。細流吹掃允許在更換鋼瓶期間向管中填充少量氮氣，以使大氣不會向上流到尾纖，而快速鋼瓶更換可最大程度地縮短管道通向大氣的時間。

3.始終將DISS接頭用于規(guī)格氣體和吹掃氣體。沒有CGA配件！使用DISS配件，可以獲得高純度的連接，而不是CGA的摩擦密封，并且使用DISS，還可以確保獲得更高純度的吹掃氣體，從而降低了氮氣的水分含量。

4.確保獲得UHP級規(guī)格的氣體和氮氣，因為純度較高，因此水分較低。

5.將氣瓶以及氣柜存放在恒溫室中。因此，例如，如果您在北方，并且是冬天，那么您的鋼瓶最終可能會被存放在冷藏室中。如果將冷氣瓶連接到溫暖的系統(tǒng)，則很容易在系統(tǒng)中結露水分，這會急速損壞系統(tǒng)。

6.確保每個氣柜都有專用的凈化缸。請勿將所有機柜都連接到家用凈化器或1個凈化瓶。原因是如果您失去了一個止回閥，并且有毒氣體回流到您的氮氣供應中，有可能污染您的氮氣。

注意：如果您的氣體管線被污染，最有可能首先在調節(jié)器中看到它。壓力將開始“上升”，調節(jié)器不會關閉。這是因為水分會因壓降而掉落，并且在閥座干涉區(qū)域，閥膜和閥座下游的提動閥芯上開始腐蝕。由于您的管線受到污染，因此更換調節(jié)器無濟于事。此時，您將必須重建氣體面板，并且很可能要重建工具的氣體管線。