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2020-06-15 09:12:24 責任編輯: 特氣管道安裝公司 0
特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖
電子特氣管道系統(tǒng)是指半導體、集成電路、平板顯示、新能源、光纖、微電子等制程工藝中用到的特種制程工藝氣體的供氣系統(tǒng)。
系統(tǒng)一般由氣瓶房供氣端和潔凈室用氣端組成,氣瓶房所用到的設備有特氣柜,特氣柜,大宗氣罐和尾氣廢氣處理設備組成,潔凈室用氣端一般由VMB閥門分配箱,VMP閥門盤組成,主要作用是分配氣體到工藝設備。
電子特氣管道系統(tǒng)都需要安裝GDS氣體探測報警系統(tǒng),GDS和供氣系統(tǒng)組成聯(lián)動作用。
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