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2020-03-24 11:08:28 0
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展,對其配套項(xiàng)目也提出了更高要求。特種氣體供應(yīng)沒有形成有效的系統(tǒng),鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問題比較嚴(yán)重,極大的影響到用氣安全。那么特氣管道工程中氣體廢氣如何處理?今天由深圳沃飛科技有限公司的工作人員為大家介紹:
特種氣體廢氣處理方式
特種氣體對身體健康以及環(huán)境都會產(chǎn)生很大的危害,如何處理特氣廢氣,用什么設(shè)備處理,這里將會進(jìn)行深入介紹。
特種氣體廢氣現(xiàn)狀
尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物不可避免的存在。過去,在很多高校,由于實(shí)驗(yàn)室用氣量不大,建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題,隨著更多半導(dǎo)體工廠雨后春筍的涌現(xiàn),生產(chǎn)用特氣廢氣的排放越來越多的引起了重視。那么怎么排放,如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。
特氣系統(tǒng)廢氣排放處理裝置的處理方式:
尾氣處理裝置的類型,應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇,不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置廢氣處理裝置;
尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置;
特種氣體廢氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。