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高純氣體管道安裝有哪些設計要點?

2020-10-21 10:31:02    責任編輯: 高純氣體系統(tǒng)設計公司     0

想要有一個優(yōu)質(zhì)的高純氣體管道系統(tǒng),就要在高純氣體管道安裝上下功夫。管道安裝除了配管和附件材質(zhì)的選擇以外,最要做好的就是氣體管道整體規(guī)劃設計了。


所謂,磨刀不誤砍柴工,優(yōu)秀且全面的高純氣體管道安裝設計能避免施工中很多問題。下面就讓有多年從事氣體管道安裝經(jīng)驗的沃飛科技來分享一下管道安裝的設計要點吧!


從氣體性質(zhì)和純度考慮:

1)  對于不同特性的氣體,應規(guī)劃獨立的供應區(qū)域。一般分為三個區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

2)  對高純氣體純度要求不同的用氣設備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設末端氣體提純裝置。

3)  根據(jù)用氣設備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。

4)  管路中應減少不流動氣體的“死空間”,不應設有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。


從氣體檢測方面考慮:

1)  為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設置必要的連續(xù)檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應設置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規(guī)定時間進行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

2)  在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中,要求供應10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設備前設置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。


從經(jīng)濟性方面考慮:

管路設計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風險也越高,通常較合理的設計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設計方面,則需要考慮使用點的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關,后者使用點的管徑一般為1/4”~3/8”。



以上,便是沃飛分享的一些管道安裝的設計經(jīng)驗,高純氣體管道安裝前的整體規(guī)劃設計影響著整個工程的質(zhì)量和效率,將問題消滅于萌芽之中。感謝您的閱讀,更多氣體應用資訊,請關注我們!