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2019-12-05 17:21:02 0
在TFT-LCD制造工藝CVD沉積工序中使用到的工藝特氣:硅烷(S1H4),氨氣(NH3),磷烷(PH3),笑氣(N2O),NF3等,另外參與工藝過程的還有高純度氫氣和高純度氮?dú)獾却笞跉怏w。濺射工序中要用到氬氣,濺射成膜氣體是濺射的主要材料。首先要求成膜氣體不能喝靶材發(fā)生化學(xué)反應(yīng),最合適的氣體是惰性氣體。蝕刻工序中也會用到大量的特氣,而電子特氣多是易燃易爆、劇毒的氣體,因此對氣路的要求很高,技術(shù)也要求很高。沃飛科技專業(yè)從事超高純特氣輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與安裝。
公司專業(yè)致力于氣體管道工程,其主要產(chǎn)品有減壓閥,卡套接頭,閥門管件,管道系統(tǒng)安裝、球閥針閥、VCR接頭、焊接接頭、阻火器、過濾器、氣體管道系統(tǒng)、高純管道系統(tǒng)、不銹鋼潔凈管等產(chǎn)品,是一家專業(yè)從事高純度/特氣供氣系統(tǒng)、各種實(shí)驗(yàn)室/研究所供氣系統(tǒng)、氣體管道工程、安裝調(diào)試服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè),系統(tǒng)應(yīng)用于tft-lcd產(chǎn)業(yè) 包括:TFT-LCD、AM-OLED、OLED、PDP、平板玻璃基板、偏光片、手機(jī)觸摸屏、觸容屏等