廢氣處理在半導(dǎo)體制造企業(yè)中是一個(gè)不可或缺的環(huán)保環(huán)節(jié)，作為大規(guī)模、代表先進(jìn)制造技術(shù)的產(chǎn)業(yè)，未經(jīng)過(guò)尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）治理的廢氣排放將會(huì)對(duì)環(huán)境造成的污染、對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體制程造成很大的影響，即AMC問(wèn)題，所以要積極做好廢氣排放的處理和控制工作。

選擇尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 的原因：

在半導(dǎo)體制程生產(chǎn)中，這些制程后殘存的氣體從無(wú)塵室通過(guò)真空管出來(lái)后，需經(jīng)尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）通過(guò)燃燒或吸附式等方法先行處理，再排入中央廢氣處理系統(tǒng)。

這是因?yàn)榘雽?dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠(yuǎn)，因此這些廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前，在冗長(zhǎng)的排氣過(guò)程中，可能會(huì)因?yàn)闅怏w特性導(dǎo)致引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應(yīng)，造成風(fēng)管堵塞、管路腐蝕等問(wèn)題，嚴(yán)重者甚至引發(fā)火災(zāi)爆炸、停止生產(chǎn)和危害現(xiàn)場(chǎng)工作人員的工作安全的后果。

吸附式尾氣處理設(shè)備的特點(diǎn)：

1.適用范圍廣。吸附式尾氣處理設(shè)備幾乎可處理所有小流量的廢氣。

2.無(wú)廢氣產(chǎn)生。通過(guò)吸附桶完全處理設(shè)備尾氣，不需要耗用水資源，沒(méi)有廢水處理問(wèn)題；

3.安全隱患少。處理時(shí)，沒(méi)有明火，在無(wú)塵室內(nèi)不產(chǎn)生火源；

4.節(jié)省能源。沒(méi)有高耗能的需求;

通過(guò)上面的解釋?zhuān)嘈拍鷳?yīng)該對(duì)半導(dǎo)體制造企業(yè)選擇尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）的原因有了些了解，社會(huì)的進(jìn)步對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)提出更高的環(huán)保要求，也促進(jìn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廢氣處理技術(shù)的進(jìn)步和發(fā)展。感謝您的閱讀！