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微電子廠尾氣處理設備

2020-12-10 10:16:00    責任編輯: 尾氣處理設備制造廠商     0

隨著信息化時代的到來,微電子行業(yè)也在迅速發(fā)展,微電子廠給社會帶來的經(jīng)濟效益及就業(yè)率是有目共睹的,但隨之而來的還有對大氣的污染。對于微電子行業(yè)工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣,如果這些廢氣未經(jīng)尾氣處理設備凈化處理,就直接排放入大氣中勢必會對周邊環(huán)境造成污染,且會對人身體健康造成影響和危害。


主要來源:

在微電子行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體,主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。

主要成分:

微電子行業(yè)廢氣排放的主要成分:有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

對于以上這些殘存的氣體如果于管線中反應,輕者可能造成風管堵塞、管路腐蝕等問題,嚴重者甚至發(fā)生泄漏及火災爆炸,停止生產的后果。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設備(Local Scrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。



吸附式尾氣處理設備(Local Scrubber)可處理氣體種類多樣,吸附工藝主要原理就是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅膠、分子篩等)來處理廢氣,這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且將其吸附在吸附劑的表面,從而達到凈化廢氣的目的。


綜上所述,微電子行業(yè)工藝過程中因使用一些化學藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物)揮發(fā)和特種氣體殘留的廢氣,會對大氣環(huán)境造成污染,而且這些污染氣體還會造成人群慢性或急性中毒,所以,需經(jīng)尾氣處理設備凈化處理后,方可排入大氣。