高純氣體輸送管路系統(tǒng)的質(zhì)量好壞，將會直接影響到高純氣體的純度、潔凈度、干燥度。因此，對于高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計、選材、加工制造、潔凈處理及安裝使用過程中的各環(huán)節(jié)嚴格控制都有十分重要的意義。下面我們就來簡單的介紹一下高純氣體管道閥門及管件。

高純氣體輸送管路閥門的選用

高純氣體對系統(tǒng)所用閥門的嚴密性有十分嚴格的要求，目前國內(nèi)潔凈廠房的高純氣體管道的閥門基本都采用SS304或SS316L不銹鋼材質(zhì)，閥門型式有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥的嚴密性比球閥好，在氣體流過閥門時沒有與外環(huán)境接觸的填料，所以沒有滲漏現(xiàn)象：隔膜閥除了嚴密性與波紋管閥相當以外，還具有閥體死體積小，易吹除且污染少，所以適用于對氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴格或者危險性大的氣體。

1、高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動氬弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和對焊，承插焊的好處在于施焊時管道的對中，方便焊接，但缺點是由于管道與承插口之間有間隙，會存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除，影響高純氣體質(zhì)量。因此對于要求極為嚴格的高純氣體來說，應(yīng)采用對接焊連接并要求內(nèi)表面無焊縫，即在施工時不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。

2、為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量，高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接，不宜采用非金屬軟管。

3、高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

以上就是沃飛科技為大家簡單介紹的高純氣體管道閥門及管件，希望能給大家提供參考。

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