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半導(dǎo)體特氣尾氣處理設(shè)備有什么優(yōu)點?

2020-12-05 10:37:15    責(zé)任編輯: 尾氣處理設(shè)備制造廠商     0

當(dāng)今,隨著時代的進步,社會已進入以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時代,在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)過程中需要使用多種特殊氣體,會產(chǎn)生大量的廢氣。如果處理不當(dāng),沒有經(jīng)過尾氣處理設(shè)備就高濃度排放,會對環(huán)境以及我們的健康造成很大影響。


特氣尾氣處理設(shè)備


隨著半導(dǎo)體制程工藝的不斷細化,廢氣治理工作的深入,為了避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏,局部聚積或相互反應(yīng),所以,制程中特氣廢氣需先在Local Scrubber 尾氣處理設(shè)備(常用吸附式)做處理,再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置。那么,吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 有什么優(yōu)勢呢?


特氣尾氣處理設(shè)備


吸附式尾氣處理設(shè)備的優(yōu)點:


1.  吸附劑處理,無廢水。以材質(zhì) SUS304、容量100L的吸附桶完全處理設(shè)備尾氣,處理過程中不需要耗用水資源,沒有廢水處理問題;

2.  節(jié)省能源,無明火。在無塵室內(nèi)處理廢氣時不產(chǎn)生火源,沒有明火,沒有高耗能的需求;

3.  系統(tǒng)功能齊全。尾氣處理設(shè)備以PLC 觸控面板為主體搭配人機接口控制系統(tǒng),各管路進、出口設(shè)計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器,針對設(shè)備運行時各種狀況,隨時監(jiān)控,全面監(jiān)控;

4.  尾氣出口處安裝變頻風(fēng)機,可根據(jù)進出口壓力,調(diào)整風(fēng)機轉(zhuǎn)速,能提升藥劑使用壽命、穩(wěn)定處理廢氣壓力和避免廢氣回流

5.  指示劑:配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑,替代傳統(tǒng)電化學(xué)計。


特氣尾氣處理設(shè)備


通過以上描述,相信大家對吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 所具備的優(yōu)點有一定的了解,在半導(dǎo)體行業(yè)根據(jù)氣體性質(zhì)等條件選擇合適的尾氣處理設(shè)備更加穩(wěn)定可靠。感謝您的閱讀!