隨著制程技術(shù)不斷演進(jìn)，使得相關(guān)供應(yīng)系統(tǒng)等級(jí)及質(zhì)量日趨精密且復(fù)雜，其廢氣問(wèn)題也越發(fā)凸顯，如毒性氣體、化學(xué)藥品等所產(chǎn)生的廢氣，便是造成環(huán)境惡化的來(lái)源之一，因此，如何處理此類(lèi)高純度且大量的毒性物質(zhì)之排放，是尾氣處理設(shè)備和廢氣治理的重要工作與任務(wù)。

坤化氫AsH?，也稱(chēng)砷烷，是一種無(wú)色劇毒氣體，常用于半導(dǎo)體工業(yè)中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴(kuò)散、離子注入、生長(zhǎng)砷化鎵（GaAs）、磷砷化鎵（GaAsP）以及與某些元素形成化合物半導(dǎo)體。 

坤化氫對(duì)人體的危害性：

砷化氫是強(qiáng)烈的溶血性毒物，砷化氫中毒程度與吸入砷化氫的濃度密切相關(guān)，潛伏期愈短則臨床表現(xiàn)愈嚴(yán)重。輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐等癥狀；重度中毒發(fā)病急劇，有高熱、昏迷、抽搐、急性腎功能衰竭及全身重度黃疸等癥狀；對(duì)心、肝、肺等也有直接的毒害作用。 

對(duì)于坤化氫AsH?的廢氣處理可采用吸附式尾氣處理設(shè)備，有吸附效率好、無(wú)高耗能需求、無(wú)塵室不產(chǎn)生火源等特點(diǎn)；同時(shí)設(shè)備各管路進(jìn)、出口設(shè)計(jì)壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對(duì)設(shè)備運(yùn)行時(shí)各種狀況，全面監(jiān)控；確保尾氣處理的安全性處理過(guò)程中沒(méi)有危害。

綜上，如坤化氫AsH?此類(lèi)物質(zhì)的高純度廢氣排放會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員的生命安全造成很大的影響，所以，在排放前應(yīng)經(jīng)尾氣處理設(shè)備進(jìn)行處理后方可排放。關(guān)于坤化氫AsH?廢氣尾氣處理設(shè)備的介紹就到這了，感謝您的閱讀！