近年來，伴隨著智能移動設備、自動駕駛汽車、5G通信、環(huán)保新能源等行業(yè)迎來強勁的市場需求，我國半導體集成電路芯片、液晶面板、光伏等行業(yè)也開啟了迅猛發(fā)展之路。與之相對應的是，作為這些行業(yè)制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料的電子特氣，其用量也在不斷增長。

由于實驗需要，實驗室經常需要采用易燃易爆有毒氣體等特種氣體。目前，實驗室普遍采用集中供氣，氣體需要經過管路輸送到使用終端。在這過程中，細節(jié)的重要性體現得淋漓盡致?？梢哉f，特氣系統(tǒng)的細節(jié)一旦出現問題，都可能導致氣體不純，生產出現問題，甚至引發(fā)事故。為了防止易燃易爆有毒氣體泄露，需要采用更專業(yè)、安全的特氣管道系統(tǒng)。

大“氣”晚來遲，大“勢”正興起。作為專業(yè)從事氣體應用系統(tǒng)工程的中堅力量，沃飛科技打造了安全可靠的電子特氣管道系統(tǒng)，將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定地輸送到工藝設備，確保SiH4、NF3、C2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高（超過9.99%）的一些具有高危險性的特氣儲存、輸送與分配。

沃飛科技深知電子特氣管道系統(tǒng)安裝的重要性，憑借著多年來精銳的技術力量和實踐經驗，為芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業(yè)提供從供氣系統(tǒng)排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)，建立以安全為第一的特氣管理輸送系統(tǒng)。安全優(yōu)質的工藝管道安裝質量，是企業(yè)生存的關鍵，也是日后“安全生產”的保證。因此，沃飛科技對全過程進行控制，根據氣體工藝要求進行各項測試，提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統(tǒng)托管服務等整體解決方案。

特氣管道系統(tǒng)由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警等功能，并可擴展地震監(jiān)控報警；單臺設備可以獨成系統(tǒng)獨立運轉，也可將多合設備通過PLC或TGO連接組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接，保證各生產工藝的電子特氣的純度和安全穩(wěn)定供應，從根本上保證了電子器件的準確性。在施工結束后，沃飛科技還會進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。

十四五規(guī)劃以“科技自主自強”為戰(zhàn)略支撐，將進一步加大對科技前沿領域集成電路全產業(yè)鏈的攻關力度。伴隨著電子行業(yè)一路高歌，沃飛科技將利用自身豐富的研發(fā)設計能力，貼近客戶應用并不斷創(chuàng)新，全面覆蓋先進工藝設備端以及配套產品服務，通過提升技術突破和產能擴張的節(jié)奏，搶抓市場機遇，全力支持國內電子特氣行業(yè)加快發(fā)展，早日實現集成電路制造廠電子特氣綜合供應。