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特氣柜的功能設(shè)計(jì)及應(yīng)用領(lǐng)域

2020-11-04 10:26:26        0

全自動(dòng)特氣柜(Gas Cabinet )是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng),基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷(當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí))。



沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜(GC)通過采用PLC控制,觸控屏為人機(jī)界面,通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過流量計(jì)等裝置,實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。


特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送,如:輸送特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。


應(yīng)用領(lǐng)域:

1、半導(dǎo)體工廠;

2、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室;

3、液晶工廠;

4、太陽能電池工廠。



沃飛WOFLY全自動(dòng)特氣柜(GC)擁有SIME S2認(rèn)證,報(bào)警偵測(cè)警報(bào)功能齊,第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴(kuò)散,及時(shí)報(bào)警處理,避免更大事故的發(fā)生,確保了正常生產(chǎn)和員工人身安全。