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2020-11-05 10:35:51 責任編輯: 特氣柜設(shè)計制造公司 0
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實驗室科研等項目中。其中,特氣柜是專門為了應(yīng)對易燃易爆、腐性、毒性等危險特種氣體供應(yīng)而設(shè)計出來的一種供氣系統(tǒng)。
高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備(特氣柜)
類型:可分為單鋼瓶/ 雙鋼瓶/ 三鋼瓶特氣柜
1. 單鋼的設(shè)計通常使用于研究機構(gòu)或?qū)嶒炇业龋?/span>
2. 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠。
特氣柜設(shè)備設(shè)計:
沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置,進行系統(tǒng)顯示和設(shè)定,實現(xiàn)設(shè)備安全有效的運行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。
沃飛WOFLY全自動特氣柜(GC)基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設(shè)定報警信號被觸發(fā)時)。擁有SIME S2認證,報警偵測警報功能齊全,在產(chǎn)品品質(zhì)和安全上都是可以信賴和放心的,還可根據(jù)不同的氣體特性和氣體使用要求,搭配不同的盤面設(shè)計,可以滿足客戶的行業(yè)需求。
以上就是關(guān)于高純工藝系統(tǒng)電子特氣設(shè)備特氣柜的簡單介紹了,感謝您的閱讀!