隨著地球石油、煤炭等能源不斷的消耗，水能、風(fēng)能及太陽能等綠色能源被人們大規(guī)模開發(fā)利用。其中，太陽能電池就是一種將光能轉(zhuǎn)換為電能的光電元件，一般以高純度的硅片為基材，通過對(duì)清洗、制絨、磷擴(kuò)散、沉積、印刷、燒結(jié)、封裝等工序制得，同時(shí)，在此過程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣，如果直接排入大氣，會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響，必須經(jīng)過尾氣處理設(shè)備凈化處理。

太陽能電池生產(chǎn)中廢氣來源分析如下：

1. 1、酸性廢氣：主要來源來自太陽能電池生產(chǎn)中的制絨和去磷硅玻璃工序產(chǎn)生的HF、NOx等酸性氣態(tài)污染物。

2. 2、擴(kuò)散廢氣：擴(kuò)散工序產(chǎn)生的廢氣主要是CL2。

3. 3、刻蝕廢氣：刻蝕廢氣中的污染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。

4. 4、PECVD 廢氣：PECVD廢氣主要為未發(fā)生反應(yīng)的SiH4、NH3和反應(yīng)生成的H2。

5. 5、印刷廢氣和燒結(jié)廢氣：印刷和燒結(jié)工序廢氣主要是由于漿料中的有機(jī)溶劑等物質(zhì)揮發(fā)的有機(jī)氣態(tài)物質(zhì)，有機(jī)物的產(chǎn)生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關(guān)。

上面所描述的氣體，直接排空的話會(huì)對(duì)環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響，如酸性廢氣NOx在大氣中經(jīng)過一系列轉(zhuǎn)化，可形成硝酸、硝酸鹽或亞硝酸鹽等酸性雨霧，是酸雨產(chǎn)生的主要原因之一。尾氣處理設(shè)備的作用，是通過燃燒、水洗和吸附等處理方法，凈化廢氣使其達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，保護(hù)環(huán)境和周邊人員的健康。

綜上，目前太陽能電池生產(chǎn)所需要處理的廢氣主要有酸堿排氣、有機(jī)排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣，都需要進(jìn)行尾氣處理設(shè)備處理后，廢氣達(dá)標(biāo)方可排入大氣中。最后，感謝您的閱讀！