熱線 0755-27919860
2020-09-11 14:02:08 責(zé)任編輯: 特氣系統(tǒng)安裝公司 0
隨著太陽能電池、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)的日新月異,其行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中產(chǎn)生的尾氣廢氣也在不斷增加,特氣系統(tǒng)中尾氣廢氣處理問題也慢慢成為一個不容忽視的問題,對其配套項目也提出了更高要求。
特種氣體尾氣現(xiàn)狀
尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物,是不可避免的存在。在過去,很多高校實驗室由于用氣量不大,建設(shè)單位的業(yè)主沒有充分意識到尾氣的排放問題,但隨著更多半導(dǎo)體工廠涌現(xiàn),生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來越多,引起了重視。那么怎么排放,如何排放成為擺在很多用戶面前的問題。今天由深圳沃飛科技有限公司的工作人員為大家介紹一下。
特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方法
依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:
1.水洗式(處理腐蝕性氣體)
2.氧化式(處理燃燒性;毒性氣體)
3.吸附式(依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣)
4.等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)
各類型之處理皆有其優(yōu)缺點及其適用范圍,處理.方式水洗時,設(shè)備便宜處理方式簡單,僅能處理水溶性氣體;電熱水洗式應(yīng)用范圍較水洗時,運轉(zhuǎn)成本高;干式處理效率佳,不適用于容易堵塞或氣體流動。
特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的選擇須知
尾氣對環(huán)境或人體皆具有一定的危害性必須防止其直接排放大氣中。所以,一般半導(dǎo)體廠都已加裝大型中央廢氣處理系統(tǒng),但此系統(tǒng)僅以水洗滌廢氣,故其應(yīng)用范圍僅限于處理水溶性氣體,無法適應(yīng)日新月異且分工細(xì)微的半導(dǎo)體工藝廢氣。
因此必須依據(jù)各工藝所衍生出的氣體特性種類,選擇搭配相對應(yīng)的廢氣處理設(shè)備才能有效解決廢氣問題。
由于工作區(qū)域多半離中央廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn),常因氣體特性導(dǎo)致管路中結(jié)晶或粉塵堆積造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體泄漏,嚴(yán)重者甚至引起爆炸,無法確?,F(xiàn)場工作人員之工作安全。因此在工作區(qū)域,尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置?;蚺渲眠m合工藝氣體特性的小型廢氣處理設(shè)備(Local Scrubber),以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。
以上,就是關(guān)于特氣系統(tǒng)中尾氣處理裝置處理尾氣的方法和要注意的地方,希望對您有用,感謝您的閱讀!