隨著信息化時(shí)代的到來，微電子行業(yè)也在迅速發(fā)展，微電子廠給社會(huì)帶來的經(jīng)濟(jì)效益及就業(yè)率是有目共睹的，但隨之而來的還有對(duì)大氣的污染。對(duì)于微電子行業(yè)工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，如果這些廢氣未經(jīng)尾氣處理設(shè)備凈化處理，就直接排放入大氣中勢(shì)必會(huì)對(duì)周邊環(huán)境造成污染，且會(huì)對(duì)人身體健康造成影響和危害。主要來源：在微電子行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。主要成分：微電子行業(yè)廢氣排放的主要成分：有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。對(duì)于以上這些殘存的氣體如果于管線中反應(yīng)，輕者可能造成風(fēng)管堵塞、管路腐蝕等問題，嚴(yán)重者甚至發(fā)生泄漏及火災(zāi)爆炸，停止生產(chǎn)的后果。因此在工作區(qū)域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)，以減少在工作區(qū)域滯留的廢氣確保人員安全。吸附式尾氣處理設(shè)備(Local Scrubber)可處理氣體種類多樣，吸附工藝主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。綜上所述，微電子行業(yè)工藝過程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)和特種氣體殘留的廢氣，會(huì)對(duì)大氣環(huán)境造成污染，而且這些污染氣體還會(huì)造成人群慢性或急性中毒，所以，需經(jīng)尾氣處理設(shè)備凈化處理后，方可排入大氣。